FC系列

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高精度

快速响应特性

FC系列气体质量流量控制器，拥有RS485/DeviceNet/EtherCAT/Profibus模拟量，等多样化的通讯方式，可为客户提供更加灵活的选择。FC系列严格遵循SEMI相关标准，气体接触面粗糙度均达到Ra0.1，拥有更加卓越的耐腐蚀性能。

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产品描述
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特点&优势
技术参数
应用案例

- Commodity name: FC系列
- Commodity ID: 1445095494722932736
<h6>高精度</h6> <h6>快速响应特性</h6> <p>FC系列气体质量流量控制器，拥有RS485/DeviceNet/EtherCAT/Profibus模拟量，等多样化的通讯方式，可为客户提供更加灵活的选择。FC系列严格遵循SEMI相关标准，气体接触面粗糙度均达到Ra0.1，拥有更加卓越的耐腐蚀性能。</p>

产品特点与优势

●高精度气体控制

●低温漂特性

●反应灵敏

●不限定气体种类（采用流量转换系数，以N2校准为基准，可应对各种气体）

●高精度特气测控技术

●安装方向任意（可自由安装）
- 规格参数
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FPMQ流量比例阀

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