FPMQ流量比例阀

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质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度及压力变化的影响。

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产品描述
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特点&优势
技术参数
应用案例

- Commodity name: FPMQ流量比例阀
- Commodity ID: 1445095465081786368
<p>质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度及压力变化的影响。</p>

质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。

质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度及压力变化的影响。

产品特点

响应快

高精度

压力不敏感

量程宽泛

密封性好

温度不敏感

可应对多种气体
- 规格参数
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FC系列

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