TCP系列
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高精度
快速响应特性
TCP系列质量流量控制器,专为集成电路设计的高端产品,拥有更宽的流量比和设定精度。配置出色的低温漂特性,独特的PID控制算法以及非线性气体换算函数,可在全量程范围内实现快速的响应,控制精度亦达到最佳,最大程度降低流量过程控制的误差。
- 产品描述
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- Commodity name: TCP系列
<h6>高精度</h6> <h6>快速响应特性</h6> <p>TCP系列质量流量控制器,专为集成电路设计的高端产品,拥有更宽的流量比和设定精度。配置出色的低温漂特性,独特的PID控制算法以及非线性气体换算函数,可在全量程范围内实现快速的响应,控制精度亦达到最佳,最大程度降低流量过程控制的误差。</p>
产品特点与优势
●高精度气体控制
●低温漂特性
●反应灵敏,响应时间在0.7s以内
●不限定气体种类(采用流量转换系数,以N2校准为基准,可应对各种气体)
●高精度特气测控技术
●安装方向任意(可自由安装)
结构参数
TCP系列结构参数
类型 TCP系列 流量规格 55SCCM-1000SCCM 1SLM-500SLM 控制阀类型 常开、常闭 关闭时流量 ≤1%F.S.(典型值) 流量控制范围 0.5~100%F.S. 流量精度 ±0.2%F.S.(Q≤20%F.S.) ±1%S.P.(Q>20%F.S.) 线性 ≤±0.5%F.S. 重复性 ≤±0.2%F.S. 零点漂移 <0.5%F.S./年 工作环境温度 5~50℃ 温度系数 ≤±0.02%S.P./℃ 响应时间 0.7s(依据量程不同有所差异) 工作压差 量程段 压电常闭 10CC-10SLM 0.05-0.35MPa 20SLM-30SLM 0.1-0.4MPa 50SLM 0.2-0.45MPa 最大工作压力 0.6MPa 漏率 全金属:5×10-12Pa.m3/sec(He) 通讯方式 数字:RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus 模拟:0-5V DC (4-20mA) 内部接触表面 Ra0.1 EP处理(可选316L-VV:VTCP系列) 标准接头 VCR:1/4"、1/2" Swagelok:1/4"、3/8"、1/2"、 Φ6、Φ8 IGS:1.125in、1.5in(C-Sesl、W-Seal) 应用领域
半导体行业
光伏行业
光纤行业
FPD行业
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