TCP系列

Here is placeholder text for Heading 1 h1.

高精度
快速响应特性

TCP系列质量流量控制器,专为集成电路设计的高端产品,拥有更宽的流量比和设定精度。配置出色的低温漂特性,独特的PID控制算法以及非线性气体换算函数,可在全量程范围内实现快速的响应,控制精度亦达到最佳,最大程度降低流量过程控制的误差。

Product Inquiry
  • 产品描述
    • Commodity name: TCP系列

    <h6>高精度</h6> <h6>快速响应特性</h6> <p>TCP系列质量流量控制器,专为集成电路设计的高端产品,拥有更宽的流量比和设定精度。配置出色的低温漂特性,独特的PID控制算法以及非线性气体换算函数,可在全量程范围内实现快速的响应,控制精度亦达到最佳,最大程度降低流量过程控制的误差。</p>

    产品特点与优势

    ●高精度气体控制

    ●低温漂特性

    ●反应灵敏,响应时间在0.7s以内

    ●不限定气体种类(采用流量转换系数,以N2校准为基准,可应对各种气体)

    ●高精度特气测控技术

    ●安装方向任意(可自由安装)

     

    结构参数

    TCP系列结构参数

    类型 TCP系列
    流量规格 55SCCM-1000SCCM 1SLM-500SLM
    控制阀类型 常开、常闭
    关闭时流量 ≤1%F.S.(典型值)
    流量控制范围 0.5~100%F.S.
    流量精度 ±0.2%F.S.(Q≤20%F.S.) ±1%S.P.(Q>20%F.S.)
    线性 ≤±0.5%F.S.
    重复性 ≤±0.2%F.S.
    零点漂移 <0.5%F.S./年
    工作环境温度 5~50℃
    温度系数 ≤±0.02%S.P./℃
    响应时间 0.7s(依据量程不同有所差异)
    工作压差 量程段 压电常闭
    10CC-10SLM 0.05-0.35MPa
    20SLM-30SLM 0.1-0.4MPa
    50SLM 0.2-0.45MPa
    最大工作压力 0.6MPa
    漏率 全金属:5×10-12Pa.m3/sec(He)
    通讯方式 数字:RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus 模拟:0-5V DC (4-20mA)
    内部接触表面 Ra0.1 EP处理(可选316L-VV:VTCP系列)
    标准接头 VCR:1/4"、1/2" Swagelok:1/4"、3/8"、1/2"、 Φ6、Φ8 IGS:1.125in、1.5in(C-Sesl、W-Seal)

     

    应用领域

    半导体行业
    光伏行业
    光纤行业
    FPD行业

Previous page

Next page

If you’re interested in our products, please leave a message or give us a call to get in touch.

*Note: Please ensure that the information you provide is accurate and that your contact details remain up-to-date. We will get in touch with you as soon as possible.

Search

All
  • All
  • Product Management
  • News and Information
  • Introduction content
  • Enterprise outlets
  • Frequently Asked Questions
  • Corporate Video
  • Company Portfolio