FC系列
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高精度
快速响应特性
FC系列气体质量流量控制器，拥有RS485/DeviceNet/EtherCAT/Profibus模拟量，等多样化的通讯方式，可为客户提供更加灵活的选择。FC系列严格遵循SEMI相关标准，气体接触面粗糙度均达到Ra0.1，拥有更加卓越的耐腐蚀性能。
- 产品描述
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- Commodity name: FC系列
<h6>高精度</h6> <h6>快速响应特性</h6> <p>FC系列气体质量流量控制器，拥有RS485/DeviceNet/EtherCAT/Profibus模拟量，等多样化的通讯方式，可为客户提供更加灵活的选择。FC系列严格遵循SEMI相关标准，气体接触面粗糙度均达到Ra0.1，拥有更加卓越的耐腐蚀性能。</p>
产品特点与优势
●高精度气体控制
●低温漂特性
●反应灵敏，响应时间在0.7s以内
●不限定气体种类（采用流量转换系数，以N2校准为基准，可应对各种气体）
●高精度特气测控技术
●安装方向任意（可自由安装）
结构参数
FC系列结构参数
类型 FC系列 流量规格 5SCCM-1000SCCM 1SLM-1000SLM 控制阀类型 常闭 关闭时流量 ≤2%F.S. 流量控制范围 2~100%F.S. 流量精度 ±2.5%F.S.（Q≤25%F.S.） ±1%S.P.（Q＞25%F.S.） 线性 ≤±0.5%F.S. 重复性 ≤±0.2%F.S. 零点漂移 ＜0.5%F.S./年 工作环境温度 10~45℃ 温度系数 ≤±0.05%F.S./℃ 响应时间 1s（依据量程不同有所差异） 工作压差 量程段 电磁式 10CC-10SLM 0.05-0.35MPa 20SLM-50SLM 0.2-0.45MPa 100SLM-300SLM 0.3-0.45MPa 400SLM-1000SLM 0.35-0.5MPa 最大工作压力 0.6MPa 漏率 橡胶：1×10-9Pa.m3/sec（He） 金属：1×10-11Pa.m3/sec（He） 通讯方式 数字：RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus 模拟：0-5V DC (4-20mA) 内部接触表面 Ra0.1 标准接头 VCR：1/4＂、1/2＂ Swagelok：1/4＂、3/8＂、1/2＂、 Φ6、Φ8 IGS：1.125in、1.5in（C-Sesl、W-Seal） 应用领域
半导体行业
光伏行业
光纤行业
FPD行业
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