GCE系列

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高精度
快速响应特性

GCE系列质量流量控制器,采用独特的热式传感器温度补偿技术,可有效应对不同环境温度的挑战。客户可选择±15V/+24V、RS485、模拟量通讯、VCR、Swagelok等多种选配方式精准快速适应使用需求,有效降低客户设计复杂系统的难度和使用成本。

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  • 产品描述
    • Commodity name: GCE系列

    <h6>高精度</h6> <h6>快速响应特性</h6> <p>GCE系列质量流量控制器,采用独特的热式传感器温度补偿技术,可有效应对不同环境温度的挑战。客户可选择±15V/+24V、RS485、模拟量通讯、VCR、Swagelok等多种选配方式精准快速适应使用需求,有效降低客户设计复杂系统的难度和使用成本。</p>

    产品特点与优势

    ●高精度气体控制

    ●低温漂特性

    ●反应灵敏,响应时间在0.7s以内

    ●不限定气体种类(采用流量转换系数,以N2校准为基准,可应对各种气体)

    ●高精度特气测控技术

    ●安装方向任意(可自由安装)

     

    结构参数

    GCE系列结构参数

    型号 MFC
    类型 GCE系列
    流量规格 10SCCM-1000SCCM 1SLM-1000SLM
    控制阀类型 常闭
    关闭时流量 ≤2%F.S.
    流量控制范围 2~100%F.S.
    流量精度 ±1.0%S.P.(≥30%F.S.);±30%F.S.(<30%F.S.)
    线性 ≤±0.5%F.S.
    重复性 ≤±0.3%F.S.
    零点漂移 <0.6%F.S./年
    工作环境温度 10~45℃
    温度系数 ≤±0.05%F.S./℃
    响应时间 1s(依据量程不同有所差异)
    工作压差 量程段 电磁式
    10CC-10SLM 0.05-0.35MPa
    20SLM-50SLM 0.2-0.45MPa
    100SLM-300SLM 0.3-0.45MPa
    400SLM-1000SLM 0.35-0.5MPa
    最大工作压力 0.6MPa
    漏率 橡胶:1×10-9Pa.m3/sec(He) 金属:1×10-11Pa.m3/sec(He)
    通讯方式 数字:RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus 模拟:0-5V DC (4-20mA)
    内部接触表面 Ra0.4
    标准接头 VCR:1/4"、1/2" Swagelok:1/4"、3/8"、1/2"、 Φ6、Φ8 IGS:1.125in、1.5in(C-Sesl、W-Seal)

     

    应用领域

    半导体行业
    光伏行业
    光纤行业
    FPD行业

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