GCE系列
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高精度
快速响应特性
GCE系列质量流量控制器,采用独特的热式传感器温度补偿技术,可有效应对不同环境温度的挑战。客户可选择±15V/+24V、RS485、模拟量通讯、VCR、Swagelok等多种选配方式精准快速适应使用需求,有效降低客户设计复杂系统的难度和使用成本。
- 产品描述
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- Commodity name: GCE系列
<h6>高精度</h6> <h6>快速响应特性</h6> <p>GCE系列质量流量控制器,采用独特的热式传感器温度补偿技术,可有效应对不同环境温度的挑战。客户可选择±15V/+24V、RS485、模拟量通讯、VCR、Swagelok等多种选配方式精准快速适应使用需求,有效降低客户设计复杂系统的难度和使用成本。</p>
产品特点与优势
●高精度气体控制
●低温漂特性
●反应灵敏,响应时间在0.7s以内
●不限定气体种类(采用流量转换系数,以N2校准为基准,可应对各种气体)
●高精度特气测控技术
●安装方向任意(可自由安装)
结构参数
GCE系列结构参数
型号 MFC 类型 GCE系列 流量规格 10SCCM-1000SCCM 1SLM-1000SLM 控制阀类型 常闭 关闭时流量 ≤2%F.S. 流量控制范围 2~100%F.S. 流量精度 ±1.0%S.P.(≥30%F.S.);±30%F.S.(<30%F.S.) 线性 ≤±0.5%F.S. 重复性 ≤±0.3%F.S. 零点漂移 <0.6%F.S./年 工作环境温度 10~45℃ 温度系数 ≤±0.05%F.S./℃ 响应时间 1s(依据量程不同有所差异) 工作压差 量程段 电磁式 10CC-10SLM 0.05-0.35MPa 20SLM-50SLM 0.2-0.45MPa 100SLM-300SLM 0.3-0.45MPa 400SLM-1000SLM 0.35-0.5MPa 最大工作压力 0.6MPa 漏率 橡胶:1×10-9Pa.m3/sec(He) 金属:1×10-11Pa.m3/sec(He) 通讯方式 数字:RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus 模拟:0-5V DC (4-20mA) 内部接触表面 Ra0.4 标准接头 VCR:1/4"、1/2" Swagelok:1/4"、3/8"、1/2"、 Φ6、Φ8 IGS:1.125in、1.5in(C-Sesl、W-Seal) 应用领域
半导体行业
光伏行业
光纤行业
FPD行业
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