质量流量控制器
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质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度及压力变化的影响。
- 产品描述
- parameter
- 特点&优势
- 技术参数
- 应用案例
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- Commodity name: 质量流量控制器
- Commodity ID: 1120710461511847936
<p>质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度及压力变化的影响。</p>
质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。
质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度及压力变化的影响。
产品特点
响应快
高精度
压力不敏感
量程宽泛
密封性好
温度不敏感
可应对多种气体
技术参数
质量流量控制器技术参数
型号 FCP压电式流量控制器/FCE电磁式流量控制器/FMM流量计 满量程流量 (10; 20; 30; 50; 100; 200; 300; 500) SCCM
(1; 2; 3; 5; 10; 20; 30; 50; 100; 150; 200) SLM控制阀类型 O:非通电时开(常开) 流量精度 ±1%S.P.(> 25%F.S.) ;±0.25%F.S. (≤25%F.S.) 关闭时流量 ≤2% 流量控制范围 2~ 100% 流量测量范围 0~ 100% 线性 ≤±0.5%F.S. 重复性 ≤±0.2%F.S. 响应时间 ≤1.5sec(全流量域)≤ 1.0sec(典型工况) 工作压差 50~350kpa (依据量程不同有所差异) 温度系数 零点:≤士0.05%F.S./°C 最大工作压差 450kpa 耐压 1MPA 泄漏率 ≤1X10- 11Paom 3/s(He) 密封材料 含氟橡胶;丁晴橡胶;全氟橡胶;三元乙丙橡胶;金属密封 工作环境温度 5~50°C 输入信号 数字: RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus;模拟: 0-5V DC 输出信号 数字: RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus;模拟: 0-5V DC 零点漂移 无零点校正时<0.2%F.S./年 电源 DC 24V 电源接头形式 详见各通讯协议 标准接头形式 VCR: 1/4"、 1/2";
双卡套:1/4"、3/8"、1/2"、 φ6、φ8;
C-Seal:1.125、 1.5inch安装方向 任何方向
应用案例
半导体行业、光伏行业、光纤行业、FPD行业
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规格参数
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产品特点
响应快
高精度
压力不敏感
量程宽泛
密封性好
温度不敏感
可应对多种气体
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型号 FCP压电式流量控制器/FCE电磁式流量控制器/FMM流量计 满量程流量 (10; 20; 30; 50; 100; 200; 300; 500) SCCM
(1; 2; 3; 5; 10; 20; 30; 50; 100; 150; 200) SLM控制阀类型 O:非通电时开(常开) 流量精度 ±1%S.P.(> 25%F.S.) ;±0.25%F.S. (≤25%F.S.) 关闭时流量 ≤2% 流量控制范围 2~ 100% 流量测量范围 0~ 100% 线性 ≤±0.5%F.S. 重复性 ≤±0.2%F.S. 响应时间 ≤1.5sec(全流量域)≤ 1.0sec(典型工况) 工作压差 50~350kpa (依据量程不同有所差异) 温度系数 零点:≤士0.05%F.S./°C 最大工作压差 450kpa 耐压 1MPA 泄漏率 ≤1X10- 11Paom 3/s(He) 密封材料 含氟橡胶;丁晴橡胶;全氟橡胶;三元乙丙橡胶;金属密封 工作环境温度 5~50°C 输入信号 数字: RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus;模拟: 0-5V DC 输出信号 数字: RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus;模拟: 0-5V DC 零点漂移 无零点校正时<0.2%F.S./年 电源 DC 24V 电源接头形式 详见各通讯协议 标准接头形式 VCR: 1/4"、 1/2";
双卡套:1/4"、3/8"、1/2"、 φ6、φ8;
C-Seal:1.125、 1.5inch安装方向 任何方向
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